Besi semiconductor industries is een beursgenoteerde toonaangevende fabrikant van semicon componenten. Voor deze klant heeft ProCleanroom afgelopen jaren al meerdere ISO-klasse 6 omgevingen geleverd.
Eind 2020 stelde Besi een uitdagende vraag: “Kan ProCleanroom een extreem schone unidirectionele (laminaire stroming) unit ontwikkelen met ISO-klasse 3 voor de installatie van een testtool voor halfgeleiderproductie”
We zijn de uitdaging aangegaan en hebben met succes de high-end ISO-klasse 3 oplossing ontwikkeld, geïnstalleerd en gevalideerd als uitbreiding op een bestaande ISO-klasse 6 modulaire cleanroom in Oostenrijk. Resultaat: nul deeltjes aanwezig van 0,3 micron en lager. Maximaal succes!
Om deze extreem schone werkomgeving te realiseren is de cleanroom unit uitgerust met 10 nr. U15 ULPA absoluutfilters met maximale filterefficiëntie, gecombineerd met een geavanceerde controller om elke fanfilter module nauwkeurig te kunnen regelen. De fanfilter modules zijn uitgerust met de nieuwste generatie EC-motoren voor maximale energie-efficiëntie en minimale warmtebelasting en geluidsdruk.
De binnen- en buitenwanden zijn volledig vlak afgewerkt voor maximale reinheid. Een speciale permanente oppervlaktecoating is op de panelen aangebracht om de hechting van deeltjes en vervuiling aan het oppervlak tot een minimum te beperken. Deze wanden zijn gecombineerd met een hoogwaardig cleanroom plafondsysteem om de installatie van de fanfilter modules mogelijk te maken en toch te voldoen aan de extreme reinheidseisen.
De cleanroom heeft de validatie foutloos behaald, wat resulteerde in een werkomgeving schoner dan ISO-klasse 3.
Een geweldige prestatie van ons complete team. Besi is zeer tevreden met de oplossing en de cleanroom is direct in gebruik genomen voor hun kritische processen.
Benieuwd wat we voor u kunnen betekenen? Neem dan contact met ons op en bespreek uw vraag met één van onze specialisten. Volg onze Linkedin en nieuwspagina om op de hoogte te blijven van de laatste projecten.