Cleanrooms voor de Halfgeleiderindustrie

Home MARKTEN Cleanrooms voor de Halfgeleiderindustrie
Mikroskop Industrie Produktion Computer Wafer

Bouw je aan jouw expertise binnen de halfgeleider industrie dan vraagt dat vaak om cleanrooms of laminaire flow kasten met een hoge ISO klasse (ISO 5 of hoger). Heb je te maken met UV-gevoelige processen? Ook dan levert ProCleanroom de juiste cleanroom. De cleanrooms hebben een hoogwaardige wandafwerking en zijn voorzien van verlichting met UV-filter. Door gebruik van anti-statische (ESD) materialen en ionisatie staven op het filtersysteem neutraliseert de statische lading in de lucht.

Wanneer ontgassing niet gewenst is levert ProCleanroom een cleanroom van niet uitgassende softwallmaterialen (PU). Deze technologie komt van oorsprong uit de ruimtevaart industrie.

Mini-omgevingen
Vaak toegepast in deze industrie zijn compacte cleanroom mini-omgevingen. Deze mini-omgevingen worden vaak in een cleanroom geplaatst en hebben een hogere ISO klasse dan de cleanroom zelf, benodigd voor het uitvoeren van het kritische proces.

Typische processen binnen de halfgeleiderindustrie:

  • Bescherming van substraten en silicium wafers
  • EUV onderzoek
  • Mask aligner
  • Vacuum coating, dunne laag depositie
  • Printing applicaties
  • Optiek
  • Front-end en back-end cleanroom processen

ProCleanroom: Build your expertise

TNO
THALES
SYNCREON
PLASTICUM
PHILIPS
Patheon
NEWAYS
Molnlycke Healthcare
Philips Medisize
KONI
Koninklijke Marine
Irmato
Flextronics
ESA
ECN
ASML
Abbott