Bouw je aan jouw expertise binnen de halfgeleider industrie dan vraagt dat vaak om cleanrooms of laminaire flow kasten met een hoge ISO klasse (ISO 5 of hoger). Heb je te maken met UV-gevoelige processen? Ook dan levert ProCleanroom de juiste cleanroom. De cleanrooms hebben een hoogwaardige wandafwerking en zijn voorzien van verlichting met UV-filter. Door gebruik van anti-statische (ESD) materialen en ionisatie staven op het filtersysteem neutraliseert de statische lading in de lucht.
Wanneer ontgassing niet gewenst is levert ProCleanroom een cleanroom van niet uitgassende materialen (PU). Deze technologie komt van oorsprong uit de ruimtevaart industrie.
Typische processen binnen de halfgeleiderindustrie:
- Bescherming van substraten en silicium wafers
- EUV onderzoek
- Mask aligner
- Vacuum coating, dunne laag depositie
- Printing applicaties
- Optiek
- Front-end en back-end cleanroom processen
ProCleanroom: Build your expertise
