- ISO klasse 5 (ISO 14644-part 1)
- ca. 300 luchtwisselingen p/uur
- 12 stuks U15 type ULPA fan Filter units
- Afmetingen: ca. 15 m2 (5m x 3m) x 2,5m inw. hoogte
- Filters voorzien van voorfilters met hoge capaciteit
- Extra sterk gepoedercoat stalen frame
- Mobiel op geremde wielen
- Antistatische softwall lamellen rondom
- Dragend frame volledig uit zicht weg gewerkt
- Volledig vlak cleanroomplafond en koof rondom
- LED strips voor optimale lichtverdeling
- Fail safe, in twee groepen uitgevoerde regeling met weekprogramma
- Dubbele drukmeters voor filterbewaking
Het project
Deze softwall cleanroom is geplaatst bij een toonaangevend onderzoeksinstituut in Nederland. Het doel was om lokaal in een bestaande ISO klasse 7 cleanroom een ruimte te realiseren beter dan ISO klasse 5 (> 100 x schoner). In de ISO klasse 5 cleanroom is een optische tafel met opstelling geplaatst welke in gebruik is voor EUV onderzoek, uitgevoerd voor de wereldwijde marktleider in wafer stepper apparatuur.
Installatie in een bestaande cleanroom
De softwall cleanroom is opgebouwd in een reeds bestaande cleanroom wat extra aandacht en planning vooraf vraagt. De onderdelen en benodigde gereedschappen zijn vooraf extreem goed gereinigd voordat deze de cleanroom binnen zijn gebracht. Ook is gezorgd voor een volledig siliconenvrije oplossing om contaminatie risico op de optiek te elimineren.
De cleanroom is te verplaatsen omdat deze op robuuste wielen is geplaatst. In positie zorgen de remmen ervoor dat de cleanroom goed op haar plek blijft staan.
Directe voordelen voor de gebruiker:
- Extreem schone lokale cleanroom binnen een bestaande cleanroom
- Direct verplaatsbaar
- Fail safe door dubbel uitgevoerd filter- en bedieningssysteem
- Nihil warmtelast door meest moderne fan filter units met DC ventilatormotoren.
- Zeer representatief door compleet vlak plafond met LED strip banen
- Laagste energieverbruik en operationele kosten in de markt
Check hier onze fotogalerij met afbeeldingen van gerealiseerde projecten
Meer weten ?
Mobiele cleanroom is flexibel in gebruik en laat een professionele indruk achter bij onze klanten.
ProCleanroom heeft bewezen een betrouwbare partner te zijn, die een turnkey cleanroom volgens de opgegeven specificatie heeft geleverd en daarbij binnen ons zeer uitdagende strakke planning en budget zijn gebleven.
In onze dynamische omgeving zijn het nakomen van afspraken uitzonderlijk belangrijk. Om onze deadlines te halen is het op tijd leveren van goederen essentieel. Zowel qua levering als het zich aanpassen aan de omgeving waarin we werken (qua timing) is ProCleanroom zeer flexibel. En denkt/werkt actief mee aan het oplossen van vraagstukken.