PANELBLOC CLEANROOM – PFEIFFER BENELUX

Cleanroom specificaties

• ISO-klasse 6 en 7 (ISO14644-1).
• 30 stuks H14-type HEPA-ventilatorfilterunits, uitgerust met hoge capaciteit voorfilters.
• Afmetingen: circa 355 m², 2,85 m interne hoogte.
• Volledig vlakke (flush) wanden en plafond met hoogwaardige isolatie-eigenschappen (akoestisch en thermisch).
• Geïntegreerde vlakke LED-panelen voor optimale verlichting conform een vooraf vastgesteld lichtplan.
• Zelfsluitende draaideuren met een interlock-systeem (vergrendeling).
• Goederenruimte ter ondersteuning van goederenprocedures met zelfsluitende deuren.
• Hoge capaciteit luchtbehandelingssysteem voor verwarming en koeling.
• Zelfdragende constructie, geen noodzaak tot ophanging.
• Circa 480 m² aan ESD-vloercoating geschikt voor een cleanroom, zowel binnen als rondom de ruimte.
• Volledig ingericht en voorzien van verbruiksartikelen door de ProCleanroom accessoires & consumables divisie.

The PanelBloc cleanroom

Deze PanelBloc cleanroom van circa 355 m², met een ISO-classificatie 6 & 7, is geïnstalleerd bij Pfeiffer Vacuum Benelux B.V. in hun vestiging in Culemborg. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, een wereldwijd opererend bedrijf met een geschiedenis die teruggaat tot 1890, levert toonaangevende oplossingen op maat voor de halfgeleiderindustrie, analyse, onderzoek en diverse andere toepassingen.

Pfeiffer Vacuum Benelux heeft zijn bestaande cleanroomfaciliteiten aanzienlijk uitgebreid om te voldoen aan de strenge eisen van een belangrijke klant in de hightechsector. De noodzaak tot uitbreiding hield direct verband met de toenemende complexiteit en het groeiende werkaanbod dat door deze leider in de halfgeleiderindustrie werd gegenereerd.

Cleanroom gebouwd voor next-generation service

Volgens Peter Spierenburg, Service Manager Benelux bij Pfeiffer Vacuum, “betekent werken voor zo’n klant dat we extra diepgang in de uitvoering moeten zoeken.” Het bedrijf produceert een speciale heliumlekdetector die is ontworpen voor gebruik op de nieuwe-generatie lithografiemachines van de klant. Toen de vraag naar zowel de levering als het onderhoud (servicing) van deze zeer specifieke lekdetectors enorm toenam, besefte Pfeiffer dat het bedrijf behoefte had aan toegewijde, gespecialiseerde capaciteit.

Met het oog op deze ontwikkeling is het bedrijf ongeveer drie jaar geleden begonnen met het opstellen van specificaties voor een geavanceerde en grotere cleanroom. Het doel was om de faciliteit volledig af te stemmen op de veeleisende normen van de klant. Deze proactieve aanpak resulteerde in de bouw van een compleet nieuwe, 355 m² grote ISO-klasse 6/7 cleanroom. Deze aanzienlijke investering garandeert dat Pfeiffer Vacuum de benodigde toegewijde en zeer specifieke onderhoud en ondersteuning kan bieden die vereist is door haar cruciale klanten in de halfgeleiderindustrie.

Doelgericht ontwerp en geverifieerde moleculaire reinheid

Tachtig procent van de cleanroom-werkplekken is operationeel gescheiden en specifiek geconfigureerd om een Grade 2-reinniveau te bereiken. Het onderhoudsproces voor heliumlekdetectors is sterk gestroomlijnd: na binnenkomst worden ze gedemonteerd, gereinigd, onderhouden en weer gemonteerd, allemaal binnen dezelfde gecontroleerde cleanroom-omgeving.

Na het onderhoud ondergaan de lekdetectors een verplichte uitgassingsperiode van vierentwintig uur, waarna ze aan een tweestapsprocedure worden onderworpen. De eerste test verifieert de functionele fabrieksspecificaties; de tweede omvat een RGA (Residual Gas Analysis)-test, uitgevoerd met behulp van een Omnigrade RGA-systeem, om de vereiste Grade 2 moleculaire reinheid te verifiëren. De gespecialiseerde testsystemen die voor dit proces nodig zijn, werden in eigen huis door Pfeiffer ontwikkeld en geproduceerd.

Echter, de veranderende inzichten met betrekking tot de nieuwe testapparatuur maakten aanzienlijke aanpassingen tijdens de bouwfase noodzakelijk. Deze flexibiliteit vanuit ProCleanroom was cruciaal, aangezien de warmtelast die door deze nieuwe apparatuur werd gegenereerd, hoger bleek dan oorspronkelijk voorspeld. Dit vormde een risico op overschrijding van de vereiste temperatuurlimiet. Daarom werden de nodige wijzigingen doorgevoerd om ervoor te zorgen dat de omgeving temperatuurgecontroleerd en volledig compliant (conform de eisen) bleef. Bovendien zijn in het ontwerp van de cleanroom gespecialiseerde nutsvoorzieningen opgenomen, strategisch geplaatst op vooraf bepaalde locaties in de hele faciliteit, om te garanderen dat alle processen optimaal verlopen en de hoogste mate van reinheid en operationele veiligheid gewaarborgd is.

Precisiehantering met gespecialiseerde cleanroomkranen

Om de veilige en precieze hantering van zware componenten binnen de cleanroom te waarborgen, is de faciliteit uitgerust met een gespecialiseerde hijsinfrastructuur. Dit systeem omvat twee complete cleanroomkraansystemen en één statisch hijspunt, wat neerkomt op in totaal drie hijspunten, die allemaal uniform zijn beoordeeld op een hefcapaciteit van 250 kg.

Deze gespecialiseerde infrastructuur is van cruciaal belang voor de operationele efficiëntie en contaminatiebeheersing. De dubbele kraansystemen bieden flexibele dekking over de verschillende werkplekken, waardoor nauwkeurige verplaatsing van onderdelen mogelijk is, van demontage tot en met het testen. Tegelijkertijd is het vaste hijspunt strategisch gepositioneerd voor taken die maximale verticale precisie vereisen bij een specifiek werkstation.

Projectmanagement en de totaaloplossing

ProCleanroom leverde een full-service oplossing en beheerde de volledige omvang van het werk. Van de leidingen tot de speciale verlichting in de inspectieruimte, geen enkel onderdeel bleef onbehandeld. Deze complete, zorgeloze service omvatte alles, van technisch advies, ontwerp en installatie tot validatie, inrichting (fit-out) en de levering van verbruiksartikelen (consumables). Een cruciaal kenmerk van de faciliteit is de integratie van speciale UV-A-inspectieruimtes. Dit zorgt er onder meer voor dat mogelijke contaminatie wordt gedetecteerd tijdens het reinigings- en verpakkingsproces, waardoor de naleving van de strenge Grade 2-reinheidsspecificaties van de klant wordt gegarandeerd.

Inrichting en Advies

De inrichting en het advies voor de keuze van de juiste cleanroomproducten, geschikt voor het werkproces van Pfeiffer, zijn volledig uitgevoerd door de afdeling Accessories & Consumables van ProCleanroom. De specialisten van deze divisie hebben samen met Pfeiffer gekeken naar de wensen en eisen en hebben op basis daarvan een productpakket samengesteld. Door dit proces parallel aan de bouw van de cleanroom te laten verlopen, kon de ruimte onmiddellijk worden ingericht en in gebruik worden genomen.

• Volledige turnkey-oplossing – ontwerp, installatie, ISO-validatie, kleding en meubilair: één aanspreekpunt.
• Maximale reinheidsprestaties dankzij volledig vlakke wanden en plafond.
• Maximale cosmetische uitstraling voor klant- en leverancierspresentatie.
• Laagste stroomverbruik en bedrijfskosten in de markt.

Bekijk onze casestudies van andere voltooide projecten.