- ISO-Klasse 5 (ISO 14644-Teil 1)
- ca. 300 Luftwechsel pro Stunde
- 12 Stück ULPA-Fan-Filter-Units vom Typ U15
- Maße: ca. 15 m2 (5m x 3m) x 2,5m Innenhöhe
- Filter mit Vorfiltern mit hoher Kapazität ausgestattet
- Extrastarker pulverbeschichteter Stahlrahmen
- Mobil auf gebremsten Rädern
- Antistatische Softwall-Lamellen rundum
- Tragrahmen komplett verdeckt
- Völlig flache Reinraumdecke und umlaufende Voute
- LED-Streifen für optimale Lichtverteilung
- Ausfallsichere, zweigruppige Steuerung mit Wochenprogramm
- Zwei Manometer für die Filterüberwachung
Das Projekt
Dieser Softwall-Reinraum wurde in einem führenden Forschungsinstitut in den Niederlanden installiert. Das Ziel bestand darin, vor Ort in einem bestehenden Reinraum der ISO-Klasse 7 einen Raum zu schaffen, der besser ist als ISO-Klasse 5 (>100x sauberer). Der Reinraum der ISO-Klasse 5 beherbergt einen optischen Tisch mit Einrichtung, der für die EUV-Forschung des Weltmarktführers für Wafer-Stepper-Ausrüstung verwendet wird.
Installation in einem bestehenden Reinraum
Der Softwall-Reinraum wurde in einen bereits bestehenden Reinraum eingebaut, was zusätzliche Aufmerksamkeit und Planung im Vorfeld erfordert. Die Teile und die notwendigen Werkzeuge wurden extrem gut gereinigt, bevor sie in den Reinraum gebracht wurden. Außerdem wurde eine komplett silikonfreie Lösung bereitgestellt, um das Risiko einer Verunreinigung der Optik auszuschließen.
Der Reinraum kann bewegt werden, da er auf robusten Rollen steht. In dieser Position sorgen die Bremsen dafür, dass der Reinraum fest an seinem Platz bleibt.
Direkte Vorteile für den Anwender:
- Äußerst sauberer lokaler Reinraum innerhalb eines bestehenden Reinraums
- Direkt zu bewegen
- Ausfallsicher durch doppelt ausgeführtes Filter- und Steuerungssystem
- Keine Wärmebelastung durch hochmoderne Fan-Filter-Units mit DC-Ventilatormotoren.
- Äußerst repräsentativ durch eine komplett flache Decke mit LED-Streifen
- Geringster Energieverbrauch und niedrigste Betriebskosten auf dem Markt
Werfen Sie einen Blick auf unsere Fallstudien, um sich über realisierte Projekte zu informieren.
Möchten Sie mehr erfahren?
Mobiele cleanroom is flexibel in gebruik en laat een professionele indruk achter bij onze klanten.
ProCleanroom heeft bewezen een betrouwbare partner te zijn, die een turnkey cleanroom volgens de opgegeven specificatie heeft geleverd en daarbij binnen ons zeer uitdagende strakke planning en budget zijn gebleven.
In onze dynamische omgeving zijn het nakomen van afspraken uitzonderlijk belangrijk. Om onze deadlines te halen is het op tijd leveren van goederen essentieel. Zowel qua levering als het zich aanpassen aan de omgeving waarin we werken (qua timing) is ProCleanroom zeer flexibel. En denkt/werkt actief mee aan het oplossen van vraagstukken.