- ISO 6 und ISO 7 (gemäß ISO 14644-Teil 1).
- Die Abmessungen betragen ca. Fläche bei Innenhöhe.
- Die Luftreinigung wird durch 30 HEPA-Filter-Fan-Einheiten (FFU) vom Typ H14 gewährleistet, die mit Hochleistungs-Vorfiltern ausgestattet sind.
- Zur Temperaturregelung dient ein leistungsstarkes Klimaanlagensystem für Beheizung und Kühlung.
- Die Konstruktion besteht aus vollflächig bündigen Wänden und Decken mit hochwirksamen Schall- und Wärmedämmeigenschaften.
- Für die optimale Ausleuchtung sorgen integrierte, bündige LED-Panels gemäß dem Beleuchtungsplan.
- Die Zugangskontrolle erfolgt über selbstschließende Flügeltüren mit einem Verriegelungssystem (Interlock-System).
- Die Konstruktion ist selbsttragend, sodass keine Abhängung erforderlich ist.
- Weiterhin ist eine Waren- und Materialschleuse (Transferbereich) zur Unterstützung von Good Practice Verfahren vorgesehen.
- Der Boden besteht aus ca. ESD-Bodenbeschichtung (elektrostatisch ableitfähig), die für Reinraumbedingungen geeignet ist und sowohl den Innenbereich als auch die umgebende Fläche abdeckt.
- Vollständig eingerichtet und ausgestattet mit Verbrauchsmaterialien durch die ProCleanroom Zubehör- & Verbrauchsmaterial-Sparte.
Der PanelBloc Reinraum
Dieser ca. große PanelBloc Reinraum für die Pfeiffer Vacuum Benelux B.V., mit einer ISO-Klassifizierung von 6 & 7, wurde am Unternehmensstandort in Culemborg installiert. Als globales Unternehmen mit Wurzeln, die bis ins Jahr 1890 zurückreichen, liefert Pfeiffer Vacuum + Fab Solutions erstklassige, maßgeschneiderte Lösungen für die Halbleiterindustrie, Analytik, Forschung und diverse andere Anwendungen.
Pfeiffer Vacuum Benelux hat seine bestehenden Reinraumeinrichtungen erheblich erweitert, um den strengen Anforderungen eines Schlüsselkunden im Hightech-Sektor gerecht zu werden. Die Notwendigkeit dieser Expansion stand in direktem Zusammenhang mit der steigenden Komplexität und dem erhöhten Arbeitsvolumen, das dieser führende Anbieter der Halbleiterindustrie generiert.
Realisierung eines Reinraums für Next-Generation-Services
Laut Peter Spierenburg, Service Manager Benelux bei Pfeiffer Vacuum, erfordere die Zusammenarbeit mit einem derartigen Kunden, dass man „zusätzliche Tiefe in der Ausführung anstreben“ müsse. Das Unternehmen fertigt einen speziellen Helium-Lecksucher, der für den Einsatz an den Lithographiemaschinen der neuen Kundengeneration konzipiert ist. Da die Nachfrage sowohl nach der Lieferung als auch nach der Wartung dieser hochspezifischen Lecksucher enorm stieg, erkannte Pfeiffer die Notwendigkeit dedizierter und spezialisierter Kapazitäten.
Vorausschauend auf diese Entwicklung begann das Unternehmen bereits vor rund drei Jahren mit der Ausarbeitung der Spezifikationen für einen modernen und größeren Reinraum. Ziel war es, die neue Einrichtung vollständig an den exakten Standards des Kunden auszurichten. Dieser proaktive Ansatz mündete in den Bau eines komplett neuen großen ISO 6/7 Reinraums. Diese substanzielle Investition stellt sicher, dass Pfeiffer Vacuum die notwendige dedizierte und hochspezifische Wartung und Unterstützung für seine Schlüsselkunden in der Halbleiterindustrie gewährleisten kann.
Zweckmäßiges Layout und verifizierte molekulare Reinheit
Achtzig Prozent der Reinraum-Arbeitsplätze sind betrieblich voneinander getrennt und gezielt auf das Erreichen einer Reinheitsstufe Grade 2 konfiguriert. Der Wartungsprozess für Helium-Lecksucher ist hochgradig optimiert: Nach der Annahme werden sie in derselben kontrollierten Reinraumumgebung demontiert, gereinigt, gewartet und wieder montiert.
Nach der Wartung durchlaufen die Lecksucher eine obligatorische Gasabscheidungsphase von vierundzwanzig Stunden, bevor sie einem zweistufigen Testverfahren unterzogen werden. Der erste Test verifiziert die funktionalen Werksspezifikationen; der zweite beinhaltet eine RGA-Prüfung (Restgasanalyse), die mit einem proprietären Pfeiffer Omnigrade RGA-System durchgeführt wird, um die erforderliche molekulare Sauberkeit der Stufe Grade 2 zu bestätigen. Die für diesen Prozess erforderlichen Spezialtestsysteme wurden von Pfeiffer firmenintern entwickelt und hergestellt.
Sich entwickelnde Erkenntnisse bezüglich der neuen Testwerkzeuge erforderten jedoch signifikante Anpassungen während der Bauphase. Diese Anpassungsfähigkeit war entscheidend, da sich herausstellte, dass die durch diese neuen Werkzeuge erzeugte Wärmebelastung höher war als ursprünglich prognostiziert, was das Risiko einer Überschreitung der erforderlichen Temperaturgrenze barg.
Folglich wurden notwendige Modifikationen implementiert, um sicherzustellen, dass die Umgebung temperaturgesteuert und vollständig konform blieb. Entscheidend ist, dass das Reinraumdesign auch spezialisierte Versorgungsleitungen (Utilities) integrierte, die strategisch an vorbestimmten Stellen in der gesamten Anlage platziert wurden. Dies gewährleistet, dass alle Prozesse optimal ablaufen und die höchsten Grade an Sauberkeit und Betriebssicherheit garantiert sind.
Präzises Handling mit spezialisierten Reinraumkransystemen
Um das sichere und präzise Handling schwerer Komponenten innerhalb des Reinraums zu gewährleisten, ist die Anlage mit einer dedizierten Hebe-Infrastruktur ausgestattet. Dieses System umfasst zwei umfassende Reinraum-Kransysteme und einen statischen Hebezugpunkt, was insgesamt drei Hebestellen ergibt. Alle diese Punkte sind einheitlich für eine Tragfähigkeit von ausgelegt.
Diese spezialisierte Infrastruktur ist entscheidend für die Betriebseffizienz und die Kontaminationskontrolle. Die doppelten Kransysteme bieten flexible Abdeckung über die verschiedenen Arbeitsbereiche hinweg und ermöglichen die genaue Bewegung von Teilen von der Demontage bis hin zu den Testverfahren. Gleichzeitig ist der feste Hebezugpunkt strategisch für Aufgaben positioniert, die an einem dedizierten Arbeitsplatz maximale vertikale Präzision erfordern.
Projektmanagement und Lieferung der Gesamtlösung
ProCleanroom lieferte eine Full-Service-Lösung und übernahm das Management des gesamten Leistungsumfangs. Von der Verrohrung bis zur Spezialbeleuchtung im Inspektionsbereich wurde keine Komponente ausgelassen. Dieser komplette, reibungslose Service umfasste alles: von der technischen Beratung und Installation über die Validierung und Ausstattung bis hin zur Lieferung der Verbrauchsmaterialien.
Ein wesentliches Merkmal der Anlage ist die Integration von speziellen UV-A-Inspektionsbereichen. Dies stellt unter anderem sicher, dass potenzielle Kontaminationen während des Reinigungs- und Verpackungsprozesses erkannt werden. Dadurch wird die Einhaltung der strengen Reinheitsspezifikationen des Kunden (Grade 2) garantiert.
Einrichtung und Fachberatung
Die Einrichtung und Beratung zur Auswahl der für den Arbeitsprozess von Pfeiffer geeigneten Reinraumprodukte wurde vollständig von der Accessories & Consumables-Sparte von ProCleanroom durchgeführt. Die Spezialisten dieser Sparte analysierten gemeinsam mit Pfeiffer die Wünsche und Anforderungen und stellten darauf basierend ein Produktpaket zusammen. Durch die Parallelisierung dieses Prozesses mit dem Bau des Reinraums konnte dieser unverzüglich ausgestattet und in Betrieb genommen werden.
Direkte Vorteile für den Kunden:
- Komplette schlüsselfertige Lösung (Full Turnkey Solution) – Design, Hardware, Installation, Mobiliar und Zubehör: ein zentraler Ansprechpartner.
- Maximale Reinheitsleistung durch vollbündige Wände, Böden und Decken.
- Optimales Erscheinungsbild für Präsentationen bei Kunden und Lieferanten.
- Einer der niedrigsten Stromverbräuche und Betriebskosten auf dem Markt.
Weitere abgeschlossene Projekte finden Sie in unseren Fallstudien.