Die Entwicklung Ihrer Expertise in der Halbleiterindustrie erfordert häufig Reinräume oder Laminar-Flow-Werkbänke mit einer hohen ISO-Klasse (ISO 5 oder höher). Arbeiten Sie mit UV-empfindlichen Prozessen? Auch dann liefert ProCleanroom den richtigen Reinraum. Die Reinräume haben eine hochwertige Wandverkleidung und verfügen über eine Beleuchtung mit UV-Filter. Durch die Verwendung antistatischer (ESD) Materialien und Antistatikstäbe am Filtersystem wird die statische Aufladung der Luft neutralisiert.
Wenn eine Entgasung nicht erwünscht ist, bietet ProCleanroom einen Reinraum aus nicht ausgasenden Softwall-Materialien (PU). Diese Technologie hat ihren Ursprung in der Luft- und Raumfahrtindustrie.
Typische Prozesse in der Halbleiterindustrie:
- Schutz von Substraten und Silizium-Wafern
- EUV-Forschung
- Mask-Aligner
- Vakuumbeschichtung, Dünnschichtabscheidung
- Druckanwendungen
- Optik
- Front-End- und Back-End-Prozesse
ProCleanroom: Build your expertise.
