- ISO klasse 6 (ISO 14644-part 1)
- ca. 160 luchtwisselingen p/uur in de hoofdruimte
- 4 stuks H14 type HEPA fan filter units
- Afmetingen: ca. 9 m2 (3m x 3m) x 2,5m inw. hoogte
- Voorfilter met hoge capaciteit, tot wel 6x langere levensduur
- Robuust gepoedercoat stalen frame
- Geremde wielen voor maximale mobiliteit (verrijdbaar)
- Transparante softwall PVC stroken rondom
- Dragende constructie volledig uit zicht
- Volledig vlak plafond en koof rondom
- Geïntegreerde LED panelen
- Cleanroom regelaar met automatisch programma
- Magnehelic drukmeter voor bewaking filterkwaliteit
Het project
Het grootste onderzoekinstituut in Nederland heeft een samenwerkingsverband met ASML, de marktleider op gebied van fotolithografie. Samen doen ze onderzoek naar een EUV lichtbron benodigd voor de nieuwste generatie wafer steppers. De cleanroom is tevens in gebruik voor prototyping.
De verrijdbare softwall cleanroom realiseert een zeer schone ISO klasse 6 omgeving. In deze ruimte is een testopstelling geplaatst gevoelig voor stofdeeltjes. De softwall cleanroom is uitgerust met wielen waardoor deze verrijdbaar is en mobiel inzetbaar.
Het plafond is geheel vlak afgewerkt waardoor de cleanroom eenvoudig en snel te reinigen is en beter schoon blijft. Door het unieke concept is de dragende constructie geheel buiten de ruimte en achter de koof weg gewerkt. Hierdoor heeft de cleanroom voor het ASML grade 4 proces een zeer representatief uiterlijk. (ASML grade 2 ook mogelijk)
De cleanroom heeft 4 stuks LED panelen die zorgen voor een zeer hoge lichtopbrengst van maar liefst 1000 Lux; noodzakelijk voor deze onderzoekswerkzaamheden.
Directe voordelen voor de gebruiker:
- Zeer schone omgeving door hoog aantal luchtwisselingen
- Warmtelast op omliggende ruimte nihil door efficiente DC ECM motortechnologie
- Automatische regelaar met instelbaar weekprogramma
- Binnen enkele weken geleverd
- Gevalideerd naar de cleanroom standaard ISO14644
- Verrijdbaar voor flexibel gebruik
Check hier onze fotogalerij met afbeeldingen van gerealiseerde projecten
Meer weten ?
Contact is laagdrempelig. De snelheid waarmee support wordt geleverd is zeer prettig te noemen.
ProCleanroom heeft goede en deskundige hulp geleverd bij het configureren van de gewenste cleanroom module. Levering en installatie zoals afgesproken en goede nazorg.
ProCleanroom heeft bewezen een betrouwbare partner te zijn, die een turnkey cleanroom volgens de opgegeven specificatie heeft geleverd en daarbij binnen ons zeer uitdagende strakke planning en budget zijn gebleven.