- Flowkast ISO klasse 3 (ISO 14644-part 1)
- Verticale flow t.b.v. bescherming product en proces
- ca. 1000 luchtwisselingen p/uur
- 1 stuks H14 type HEPA fan filter unit
- Uitwendige afmetingen: 1315 x 695 x 2000mm (LxBxH)
- Inwendige afmetingen werkplek: 1275 x 665 x 750mm (LxBxH)
- Drukmeter voor bewaken filterdruk en functionaliteit
- Robuust gepoedercoate stalen bovenbouw
- Transparante Polycarbonaat zijplaten
- Anti-statisch (ESD) transparant voorscherm
- Geïntegreerde LED verlichting
- RVS tafel volledig op maat t.b.v. plaatsing EUV testing tool
- Geïntegreerde ionisatiestaaf t.b.v. het neutraliseren van mogelijke statische lading in de downflow zone.
- Elektronische regelaar t.b.v. traploos regelen luchtsnelheid
Het project
Vanwege onze in-house engineering en design, was ProCleanroom mede-ontwikkelingspartner voor deze laminaire downflow kasten op maat. Als ondersteuning van het EUV ontwikkelingstraject is de flowkast benodigd voor een test tool voor eindgebruiker ASML. De flowkast is volledig op maat ontworpen om de speciale EUV test tool met bijbehorende utiliteiten in en onder de flowkast te kunnen plaatsen.
Een hoogwaardig ventilatorfiltersysteem, voorzien van de laatste generatie ErP2016 compatible DC gelijkstroommotor, is toegepast voor het realiseren van de schoonst mogelijke condities in het laminaire downflow kabinet (ISO klasse 3) bij een zo laag mogelijk energieverbruik. Dit om de operationele kosten tot een minimum te beperken.
Om schadelijke statische lading in de laminaire luchtstroom te kunnen neutraliseren is een ionisatiestaaf toegepast, welke in de downflow zone gemonteerd is. Het blad van de RVS tafel is zoveel mogelijk geperforeerd om de verticale luchtstroom zo minimaal mogelijk te verstoren.
Directe voordelen voor de gebruiker:
- Vanwege de aanwezige kennis en ervaring in deze toepassingen, gecombineerd met de in-house engineering en design is ProCleanroom mede ontwikkelingspartner
- Hoge mate van design flexibiliteit
- Speciale flowkast volledig op maat voor zeer kritische hi-tech applicatie
- Hoogwaardige afwerking met alleen componenten van de beste kwaliteit
- ISO validatie op locatie met certificaat
Check hier onze fotogalerij voor afbeeldingen van gerealiseerde projecten.
Meer weten ?
ProCleanroom heeft bewezen een betrouwbare partner te zijn, die een turnkey cleanroom volgens de opgegeven specificatie heeft geleverd en daarbij binnen ons zeer uitdagende strakke planning en budget zijn gebleven.
In onze dynamische omgeving zijn het nakomen van afspraken uitzonderlijk belangrijk. Om onze deadlines te halen is het op tijd leveren van goederen essentieel. Zowel qua levering als het zich aanpassen aan de omgeving waarin we werken (qua timing) is ProCleanroom zeer flexibel. En denkt/werkt actief mee aan het oplossen van vraagstukken.
Mobiele cleanroom is flexibel in gebruik en laat een professionele indruk achter bij onze klanten.