- ISO-Klasse 6 (ISO 14644-Teil 1)
- ca. 160 Luftwechsel pro Stunde im Hauptraum
- 4 Stück HEPA-Fan-Filter-Units vom Typ H14
- Maße: ca. 9 m2 (3m x 3m) x 2,5m Innenhöhe
- Vorfilter mit hoher Kapazität, bis zu 6x längere Lebensdauer
- Robuster pulverbeschichteter Stahlrahmen
- Gebremste Räder für maximale Mobilität (fahrbar)
- Transparente Softwall-PVC-Streifen rundum
- Tragende Struktur völlig verdeckt
- Völlig flache Decke und Voute rundum
- Integrierte LED-Paneele
- Reinraumsteuerung mit automatischem Programm
- Magnehelic-Manometer zur Überwachung der Filterqualität
Das Projekt
Das größte Forschungsinstitut der Niederlande hat eine Partnerschaft mit ASML, dem Marktführer im Bereich der Fotolithografie. Gemeinsam forschen sie an einer EUV-Lichtquelle, die für die neueste Generation von Wafer-Steppern benötigt wird. Der Reinraum wird außerdem für das Prototyping genutzt.
Der fahrbare Softwall-Reinraum schafft eine sehr saubere Umgebung der ISO-Klasse 6. In diesem Raum wurde ein Prüfstand aufgestellt, der auf Staubpartikel reagiert. Der Softwall-Reinraum ist mit Rädern ausgestattet, die ihn fahrbar und nahezu überall einsetzbar machen.
Die Decke hat eine völlig glatte Oberfläche, sodass der Reinraum einfach und schnell zu reinigen ist und besser sauber bleibt. Dank des einzigartigen Konzepts ist die tragende Struktur vollständig außerhalb des Raums und hinter der Voute verborgen. Dies verleiht dem Reinraum für den Prozess gemäß ASML Grade 4 ein sehr repräsentatives Aussehen. (ASML Grade 2 auch möglich)
Der Reinraum verfügt über 4 LED-Paneele, die eine sehr hohe Lichtleistung von nicht weniger als 1000 Lux liefern, was für diese Forschungsarbeit notwendig ist.
Direkte Vorteile für den Anwender:
- Sehr saubere Umgebung aufgrund der hohen Anzahl von Luftwechseln
- Keine Wärmebelastung des umgebenden Raums durch effiziente DC ECM-Motortechnologie
- Automatische Steuerung mit einstellbarem Wochenprogramm
- Geliefert innerhalb weniger Wochen
- Validiert nach der Reinraumnorm ISO14644
- Fahrbar für flexiblen Einsatz
Werfen Sie einen Blick auf unsere Fallstudien, um sich über realisierte Projekte zu informieren.
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