- Laminar-Flow-Werkbank ISO-Klasse 3 (ISO 14644-Teil 1)
- Vertikaler Flow für Produkt- und Prozessschutz
- ca. 1000 Luftwechsel pro Stunde
- 1 Stück HEPA-Fan-Filter-Unit Typ H14
- Außenmaße: 1315 x 695 x 2000mm (LxBxH)
- Innenmaße der Arbeitsstation: 1275 x 665 x 750mm (LxBxH)
- Manometer zur Überwachung des Filterdrucks und der Funktionalität
- Robuster pulverbeschichteter Stahlaufbau
- Transparente Seitenwände aus Polycarbonat
- Antistatische (ESD) transparente Frontscheibe
- Integrierte LED-Beleuchtung
- Speziell angefertigter Tisch aus Edelstahl zur Platzierung des EUV-Testwerkzeugs
- Integrierter Ionisierungsstab zur Neutralisierung möglicher statischer Aufladung in der Downflow-Zone.
- Elektronischer Regler für die stufenlose Regulierung der Luftgeschwindigkeit
Das Projekt
Aufgrund unseres hauseigenen Engineerings und unseres Designs war ProCleanroom Mitentwicklungspartner für diese kundenspezifischen vertikalen Laminar-Flow-Werkbänke. Zur Unterstützung des EUV-Entwicklungsprozesses wird die Laminar-Flow-Werkbank für ein Testwerkzeug für den Endkunden ASML benötigt. Die Laminar-Flow-Werkbank ist vollständig kundenspezifisch gestaltet, um das spezielle EUV-Testwerkzeug und die dazugehörigen Hilfsmittel in und unter der Werkbank unterzubringen.
Ein hochwertiges Ventilatorfiltersystem, das mit einem ErP2016-kompatiblen Gleichstrommotor der neuesten Generation ausgestattet ist, wurde eingesetzt, um in der vertikalen Laminar-Flow-Werkbank (ISO-Klasse 3) die saubersten Bedingungen bei geringstmöglichem Energieverbrauch zu erreichen. Dadurch werden die Betriebskosten minimiert.
Um die schädliche statische Aufladung in der laminaren Luftströmung zu neutralisieren, wurde ein Ionisierungsstab verwendet, der in der Downflow-Zone angebracht ist. Die Oberfläche des Edelstahltisches ist so weit wie möglich perforiert, um die vertikale Luftströmung möglichst wenig zu stören.
Direkte Vorteile für den Anwender:
- Aufgrund des vorhandenen Wissens und der Erfahrung in diesen Anwendungen, kombiniert mit hauseigenem Engineering und Design, ist ProCleanroom ein Co-Entwicklungspartner
- Hoher Grad an Designflexibilität
- Spezielle Laminar-Flow-Werkbank, die vollständig auf die hochkritische Hightech-Anwendung zugeschnitten ist
- Hochwertige Verarbeitung mit Komponenten bester Qualität
- ISO-Validierung vor Ort mit Zertifikat
Werfen Sie einen Blick auf unsere Fallstudien, um sich über realisierte Projekte zu informieren.
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Andere Projekte
ProCleanroom heeft bewezen een betrouwbare partner te zijn, die een turnkey cleanroom volgens de opgegeven specificatie heeft geleverd en daarbij binnen ons zeer uitdagende strakke planning en budget zijn gebleven.
In onze dynamische omgeving zijn het nakomen van afspraken uitzonderlijk belangrijk. Om onze deadlines te halen is het op tijd leveren van goederen essentieel. Zowel qua levering als het zich aanpassen aan de omgeving waarin we werken (qua timing) is ProCleanroom zeer flexibel. En denkt/werkt actief mee aan het oplossen van vraagstukken.
Mobiele cleanroom is flexibel in gebruik en laat een professionele indruk achter bij onze klanten.