PANELBLOC CLEANROOM – INTERNATIONALE FABRIKANT IN DE SEMICONDUCTOR INDUSTRIE

Cleanroom specificaties

• Afmetingen: ca. 700 m²,  4.8m inw. hoogte.
• ISO class 7 (ISO 14644-part 1).
• 50 stuks. luchtwervelroosters in combinatie met een LBK voorzien van HEPA-filtratie.
• 140 stuks. Geïntegreerde verzonken LED-panelen voor optimale verlichting volgens een vooraf bepaald lichtplan.
• Volledig vlakke wanden en plafond met hoogwaardige isolatie-eigenschappen (geluid en thermisch).
• Zelfsluitende draaideuren met interlocksysteem.
• Ruime goederenruimte ter ondersteuning van praktijkprocedures met zelfsluitende deuren en snelroldeuren.
• Airconditioningsysteem met hoge capaciteit voor verwarming en koeling.
• Zelfdragende constructie.

De 700 m² PanelBloc cleanroom

Deze grote ISO-klasse 7 PanelBloc cleanroom is geïnstalleerd op een gehuurde locatie voor een internationale fabrikant in de halfgeleiderindustrie. De cleanroom zal worden gebruikt voor de geconditioneerde opslag van zeer gevoelige high-tech machines.

Naast de hoofdruimte van circa 550 m² is de cleanroom uitgerust met een ruime ISO-8, luchtsluis/MAL-ruimte (100 m²), specifiek ontworpen voor het klantproces, en een 50 m² omkleed/PAL-ruimte, eveneens ISO-klasse 8.

Vanwege de omvang, indeling en gewenste specificaties, met behoud van maximale prestaties, werd besloten om de cleanroom te bouwen op basis van het gepatenteerde PanelBloc® cleanroomsysteem. De PanelBloc panelen zijn voorzien van een speciale coating waardoor de ruimtes snel en optimaal gereinigd kunnen worden en alle wanden en plafond volledig vlak zijn.

Tijdelijke opslag

De cleanroom is specifiek gebouwd voor de tijdelijke opslag van zeer gevoelige high-tech machines op een gehuurde locatie. Omdat deze locatie niet eigendom is van onze klant, was het van cruciaal belang dat de cleanroom een volledig zelfdragende constructie had, waardoor ophanging en aanpassingen aan het gebouw overbodig waren. Om het “tijdelijke” karakter te behouden en ervoor te zorgen dat de cleanroom relatief eenvoudig kan worden gedemonteerd, zonder dat dit gevolgen heeft voor de vloer van de locatie waarop deze is gebouwd, hebben onze ingenieurs besloten om een cleanroom-compatibele vloertegel te gebruiken.

Gevoelige settings voor temperatuur en luchtvochtigheid

Om ervoor te zorgen dat de gewenste luchtverversing wordt bereikt bij een volledig gevulde opslag, met behoud van de gewenste ISO-klasse (7) en luchtsnelheid bij maximale prestaties, zijn 50 luchtwerverroosters geïnstalleerd in combinatie met een luchtbehandelingskast (LBK) die is uitgerust met hoogcapaciteits HEPA-filtratie.

Dit waarborgt dat de temperatuur een constante waarde van 21 graden (+/- 1 graad) heeft en de luchtvochtigheid een waarde van 50% (+/- 10%). Voldoende verlichting was eveneens een belangrijk aandachtspunt. Om een adequate belichting te realiseren, zijn 140 LED-panelen volledig vlak in het plafond geïntegreerd, volgens een vooraf bepaald lichtplan.

Klantspecifieke lay-out van de cleanroom

De zeer gevoelige high-tech machines die in deze cleanroom worden opgeslagen, zijn groot van formaat en hebben een hoog gewicht. Daarom zijn er extra brede snelloopdeuren geïnstalleerd en is de MAL (Material Airlock) met zijn ongeveer 100 m² ruimtelijk ontworpen. Op elke opslaglocatie zijn nutsvoorzieningen aanwezig, zoals stikstof, stroom, sprinklers en noodverlichting. De interne hoogte van 4,8 meter maakt het mogelijk om gereedschap van verschillende afmetingen gemakkelijk de cleanroom binnen te brengen.

Alle binnendeuren en snelloopdeuren zijn voorzien van een zelfsluitend interlocksysteem. Voor maximale veiligheid is de cleanroom uitgerust met veiligheidssystemen zoals rookmelders, noodverlichting en speciale nooddeuren die alleen van binnenuit geopend kunnen worden.